EVG620 NT或完全容纳的EVG620
NT Gen2掩模对准系统配备了集成的振动隔离功能,可在各种应用中实现出色的曝光效果,例如,对薄而厚的光刻胶进行曝光,对深腔进行构图并形成可比的形貌,以及对薄而易碎的材料(例如化合物半导体)进行加工。此外,半自动和全自动系统配置均支持EVG专有的SmartNIL技术。
EVG620 NT特征:
晶圆/基板尺寸从小到150 mm /
6''
系统设计支持光刻工艺的多功能性
易碎,薄或翘曲的多种尺寸的晶圆处理,更换时间短
带有间隔垫片的自动无接触楔形补偿序列 EVG的CoverSpin TM旋转盖可降低光刻胶消耗,并提高光刻胶涂层的均匀性。ABM光刻机实际价格
EVG101光刻胶处理系统的技术数据:
可用模块:旋涂/ OmniSpray ® /开发
分配选项:
各种光刻胶分配泵,可覆盖高达52000 cP的粘度;
液体底漆/预湿/洗盘;
去除边缘珠(EBR)/背面冲洗(BSR);
恒压分配系统/注射器分配系统。
智能过程控制和数据分析功能(框架软件平台)
用于过程和机器控制的集成分析功能
并行任务/排队任务处理功能,提高效率
设备和过程性能跟/踪功能:智能处理功能;事/故和警报分析/智能维护管理和跟/踪
晶圆直径(基板尺寸):高达300毫米
四川光刻机服务为先EVG在1985年发明了世界上第/一个底部对准系统,对准晶圆键合和纳米压印光刻技术方面开创并建立了行业标准。
EVG也提供量产型掩模对准系统。对于在微米范围内的光刻图形,掩模对准器是**/具成本效益的技术,与其他解决方案相比,每层可节省30%以上的成本,这对用户来说是至关重要的。EVG的大批量制造系统旨在以**/佳的成本效率与**/高的技术标准相结合,并由卓/越的全球服务基础设施提供支持。**重要的是,大焦深曝光光学系统完美匹配大批量生产中的厚抗蚀剂,表面形貌和非平面基片的图形。在全球范围内,我们为许多客户提供了量产型的光刻机系统,得到了他们的无数好评。
EVG ® 150特征2:
先进且经过现场验证的机器人具有双末端执行器功能,可确保连续的高产量
处理厚或超薄,易碎,弯曲或小直径的晶圆
用于旋涂和喷涂,显影,烘烤和冷却的多功能模块的多功能组合为许多应用领域提供了巨大的机会
EFEM(设备前端模块)和可选的FSS(FOUP存储系统)
工艺技术卓/越和开发服务:
多用户概念(无限数量的用户帐户和程序,可分配的访问权限,不同的用户界面语言)
智能过程控制和数据分析功能[Framework SW Platform]
用于过程和机器控制的集成分析功能
设备和过程性能跟/踪功能
并行/排队任务处理功能
智能处理功能
发生和警报分析
智能维护管理和跟/踪
了解客户需求和有效的全球支持,这是我们提供优先解决方案的重要基础。
EVG ® 610特征:
晶圆/基板尺寸从小到200 mm /8''
顶侧和底侧对准能力
高精度对准台
自动楔形补偿序列
电动和程序控制的曝光间隙
支持**/新的UV-LED技术
**小化系统占地面积和设施要求
分步流程指导
远程技术支持
多用户概念(无限数量的用户帐户和程序,可分配的访问权限,不同的用户界面语言)
便捷处理和转换重组
台式或带防震花岗岩台的单机版
EVG ® 610附加功能:
键对准
红外对准
纳米压印光刻(NIL)
EVG ® 610技术数据:
对准方式
上侧对准:≤±0.5 µm
底面要求:≤±2,0 µm
红外校准:≤±2,0 µm /具体取决于基板材料
键对准:≤±2,0 µm
NIL对准:≤±2,0 µm OmniSpray涂层技术是对高形晶圆表面进行均匀涂层。掩模对准光刻机美元价格
HERCULES光刻机系统:全自动光刻跟/踪系统,模块化设计,用于掩模和曝光,集成了预处理和后处理能力。ABM光刻机实际价格
随着现在科学技术的发展,仪器仪表行业发生了突飞猛进的发展,再加上当前计算机技术、网络技术的进步和发展,组建网络而构成实用的监控系统,可以提高生产效率和共享信息资源方向发展。当前仪器仪表行业产品发展呈现微型化、多功能化、智能化、网络化四大发展趋势。随着网络消费的不断递增,而互联网的的商业价值不断被挖掘出来,呈爆发式增长,传统的营销模式将逐步被取代。其他有限责任公司企业要抓住机遇,融入到互联网发展的行业中,为行业的发展提高竞争力。随着手机移动网络的消费潜力不断隐现,消费者利用手机消费的频率和份额逐年递增。移动互联网所隐藏的商业价值被更多地挖掘出来之后,各种传统行业(包括半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪行业)的移动网上平台相继诞生。为迎接贸易型百年未有之大变局,行家认为,要重新定义中国在世界经济版图中的地位,要顺应形势实现制造升级。以华立集团在境外开发“中国工业园”的成功案例来阐述,跨国经营要成为企业主动的战略选择,在不确定性中更好地活下去,以全球化视野看问题,很多困惑在全球化过程中会迎刃而解。ABM光刻机实际价格