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纳米压印基本参数
  • 产地
  • 奥地利
  • 品牌
  • EVG
  • 型号
  • EVG610,EVG620 NT,EVG6200 NT,EVG720,EVG7200,EVG7200
  • 是否定制
纳米压印企业商机

纳米压印光刻(NIL) -SmartNIL ®

用于大批量生产的大面积软UV纳米压印光刻工艺

介绍:

EVG是纳米压印光刻(NIL)的市场**设备供应商。EVG开拓了这种非常规光刻技术多年,掌握了NIL并已在不断增长的基板尺寸上实现了批量生产。EVG的专有SmartNIL技术通过多年的研究,开发和现场经验进行了优化,以解决常规光刻无法满足的纳米图案要求。SmartNIL可以提供低至40 nm或更小的出色的共形烙印结果。

如果要获得详细信息,请联系我们岱美仪器技术服务有限公司或者访问官网。


EV Group 提供完整的UV 紫外光纳米压印光刻(UV-NIL)产品线。原装进口纳米压印技术支持

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EVG ® 520 HE热压印系统

特色:经通用生产验证的热压印系统,可满足比较高要求

EVG520 HE半自动热压印系统设计用于对热塑性基材进行高精度压印。EVG的这种经过生产验证的系统可以接受直径比较大为200 mm的基板,并且与标准的半导体制造技术兼容。热压印系统配置有通用压花腔室以及高真空和高接触力功能,并管理适用于热压印的整个聚合物范围。结合高纵横比压印和多种脱压选项,提供了许多用于高质量图案转印和纳米分辨率的工艺。


如果需要详细的信息,请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。 EVG7200纳米压印供应商家EVG的EVG ® 620 NT是智能NIL ® UV纳米压印光刻系统。

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    它为晶圆级光学元件开发、原型设计和制造提供了一种独特的方法,可以方便地接触***研发技术与材料。晶圆级纳米压印光刻和透镜注塑成型技术确保在如3D感应的应用中使用小尺寸的高 分辨率光学传感器供应链合作推动晶圆级光学元件应用要在下一代光学传感器的大众化市场中推广晶圆级生产,先进的粘合剂与抗蚀材料发挥着不可取代的作用。开发先进的光学材料,需要充分地研究化学、机械与光学特性,以及已被证实的大规模生产(HVM)的可扩展性。拥有在NIL图形压印和抗蚀工艺方面的材料兼容性,以及自动化模制和脱模的专业知识,才能在已验证的大规模生产中,以**小的形状因子达到晶圆级光学元件的比较好性能。材料供应商与加工设备制造商之间的密切合作,促成了工艺流程的研发与改善,确保晶圆级光学元件的高质量和制造的可靠性。EVG和DELO的合作将支持双方改善工艺流程与产品,并增强双方的专业技能,从而适应当前与未来市场的要求。双方的合作提供了成熟的材料与专业的工艺技术,并将加快新产品设计与原型制造的速度,为双方的客户保驾护航。“NILPhotonics解决方案支援中心的独特之处是:它解决了行业内部需要用更短时间研发产品的需求,同时保障比较高的保密性。

    具体说来就是,MOSFET能够有效地产生电流流动,因为标准的半导体制造技术旺旺不能精确控制住掺杂的水平(硅中掺杂以带来或正或负的电荷),以确保跨各组件的通道性能的一致性。通常MOSFET是在一层二氧化硅(SiO2)衬底上,然后沉积一层金属或多晶硅制成的。然而这种方法可以不精确且难以完全掌控,掺杂有时会泄到别的不需要的地方,那样就创造出了所谓的“短沟道效应”区域,并导致性能下降。一个典型MOSFET不同层级的剖面图。不过威斯康星大学麦迪逊分校已经同全美多个合作伙伴携手(包括密歇根大学、德克萨斯大学、以及加州大学伯克利分校等),开发出了能够降低掺杂剂泄露以提升半导体品质的新技术。研究人员通过电子束光刻工艺在表面上形成定制形状和塑形,从而带来更加“物理可控”的生产过程。(来自网络。纳米压印是一种用于大规模制造微米级和纳米级结构的低成本的技术,大批量替代光刻技术。

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纳米压印光刻(NIL)技术

EVG是纳米压印光刻(NIL)设备和集成工艺的市场**供应商。EVG从19年前的研究方法中率先并掌握了NIL,并实现了从2英寸化合物半导体晶圆到300 mm晶圆甚至大面积面板的各种尺寸基板的批量生产。NIL是产生纳米尺度分辨率图案的**有前途且相当有成本效益的工艺,可用于生物MEMS,微流体,电子学以及**近各种衍射光学元件的各种商业应用。


其中EVG紫外光纳米压印系统型号包含:

EVG®610

EVG®620NT

EVG®6200NT

EVG®720

EVG®7200

EVG®7200LA

HERCULES®NIL

EVG®770

IQAligner®


热压纳米压抑系统型号包含:

EVG®510HE

EVG®520HE


详细的参数,请联系我们岱美有限公司。


EVG先进的多用户概念可以适应从初学者到**级别的所有需求,因此使其成为大学和研发应用程序的理想选择。镜片成型纳米压印售后服务

EVG ® 610也可以设计成紫外线纳米压印光刻系统。原装进口纳米压印技术支持

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