干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
浚和(上海)仪器有限公司专业致力于干式真空泵批发。东莞KASHIYAMA干式真空泵价格
干式无油真空泵。工作泵腔无油无水,既不会对真空室产生污染,更不会污染抽取介质。且配套少,也可直排大气。虽然短期的购置投入成本超过传统真空泵,但后期的使用维护成本,干式无油真空泵却要远远低出,而且时间越久,后期成本差异就愈加明显。
干式无油螺杆真空泵是一种干式作业、无触摸、等螺距的螺杆型真空泵。两螺杆经过精密动平衡处理,由轴承支撑,设备在泵壳中,螺杆与螺杆之间有一定空隙,泵作业作业平稳,相互无冲,作业腔无介质。因此,干式无油螺杆真空泵能抽除含有许多可凝性气体及粉尘的气体,是环境友好型、节能型真空泵。它比油封式机械真空泵、液环式真空泵、往复式真空泵等型号真空泵适用性更强。 东莞KASHIYAMA干式真空泵价格浚和(上海)仪器有限公司为KASHIYAMA干式真空泵中国地区客户提供现货。
近期很多朋友咨询反馈自己生产中的液环式真空泵由于夏天温度高,真空度上不去,叶轮也由于腐蚀和气蚀经常换,用的无油螺杆泵、爪泵转子经常被卡死盘不动车,而且由于腐蚀真空度上不去,排气口还有喷油现象。种种现象维修虽然花不了多少钱,但是影响生产,一个班组的人都等着泵修好,下面的人瞪着眼看着,上面领导脸色又不好,很是尴尬难受!因此我们这一辑内容就来为大家介绍干式真空泵,干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段,如日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,提高了产品的性能和质量。
当您选择油封泵时,您应该首先了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、挡油阱、挡板等,也能达到清洁真空要求。当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足工艺要求。当选择油封真空泵时,要考虑真空泵排出来的油蒸汽(油烟)对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,应该选无油真空泵,或者把油蒸汽排到室外。Kashiyama Neodry36E小型风冷干式真空泵成为等离子清洗机制造商的新宠。
日本KASHIYAMA SDE20M12TX干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样:SDE20M12TX
MAX排气速度(L/min):30000
达到压力(Pa):0.5
电源电压:3相 AC200-220V,380-480V
外型尺寸WHL [mm]:460×960×900
二、 配置清单:
序号
描述
数量
备注
1
SDE20M12TX主机一台
1
标配
2
电源线
1
标配
3
冷却水管路接头
1
标配
4
操作手柄
1
标配
5
产品合格证
1
标配
6
消音器(原厂件,选配)
未包含
7
入口过滤器(选配,非原厂件)
未包含
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:
1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。
2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。
3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。
4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
干式真空泵的优点有很多。北京NEODRY 60E干式真空泵代理商
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日本KASHIYAMA SDE30N20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
SDE30N20 |
MAX排气速度(L/min) |
50000 |
达到压力(Pa) |
0.5 |
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
消费电力(KW) |
3.3KW |
外型尺寸WHL [mm] |
450×950×1000 |
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
SDE30N20主机一台 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
浚和(上海)仪器有限公司是一家供应国内外先进仪器和设备的专业供应商和服务商,致力于为客户提供专业的定制化解决方案。多年来,持续为医药、化工、高校、科研单位、检测院等多个行业提供先进的产品和专业的服务。
浚和在不断引进国内外先进仪器设备的同时,结合行业和市场需求,加强和客户之间的沟通,并与国际上多家**仪器设备制造商保持着长期稳定的合作关系,不定期地与合作商进行技术交流,努力加强自身技术力量。公司配备了数名有着多年行业经验的技术人员,依靠雄厚的技术实力、科学合理的配置方案、专业的安装调试和周到的售后服务,得到了广大用户的支持与信赖。
公司主要经营产品包括:等离子清洗机、真空泵、喷雾干燥器、数字PCR、高压灭菌锅、培养箱、切片机、水分测定仪、激光粒度仪、光谱仪、温湿度记录仪等,目前主要合作品牌有:日本雅马拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、广州永诺 、日本KEM等。同时,公司还提供专业的技术服务,如设备的维护、验证等。
浚和仪器将始终以行业特点为立足点,以客户需求为导向,不断地提高自身专业技术能力,不停地完善客户服务质量,在发展中保持创新的精神,力求与客户共同进步,为行业的发展作出不懈的努力。
干式真空泵的种类特征螺杆式:利用螺杆型Rotor进行排气输送的容积移送式干式真空泵。罗茨式:在3片式Rotor和Casing之间的空间运送气体的容积移送式干式真空泵。爪式:复数的爪型Rotor以轴平行排列,进行相互逆回转来移送气体的干式真空泵。涡旋式:利用涡旋型的Stage及Rotor的运动组合来进行排气的真空泵。隔膜式:藉由利用气缸内的隔膜的来回运动来进行排气的容积移送式真空泵。活塞式:利用气缸内的活塞的来回运动来进行排气压缩以及排气的容积移送式真空泵。浚和(上海)仪器有限公司致力于提供干式真空泵,有需求可以来电咨询!西藏便携式干式真空泵商家0.8电源电压:3相A C200-220V,380...