折叠订做产能确定尺寸规格,满足生产需求,产能高,可以选择履带式工业烤箱。就是我们说烘干生产线,隧道炉,烘道。产能低的或者实验用的小型烤箱都可以选择加工定做。折叠温度选择比实际使用温度高10度即可。根据工艺要求,计算好实际要求的温差,以保证烘烤的效果。举例:如果使用温度是150度,220度,360度,...
下面为大家介绍一下高温无氧固化烘箱。
无氧干燥箱应用于航空、航天、石油、化工、***、船舶、电子、通讯等科研及生产单位,主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化,模压固烤、IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零备件等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。
1、技术指标与基本配置:
1.1使用温度:RT~260℃,极限温度:300℃;
1.2炉膛腔数:2个,上下布置;
1.3炉膛材料:SUS304镜面不锈钢;加热元件:不锈钢加热器;热偶:K分度
1.4温度和氧含量记录:无纸记录仪;
2、氧含量(配氧分析仪):
2.1高温状态氧含量:≤ 10ppm +气源氧含量;低温状态氧含量:≤ 20ppm +气源氧含量
2.2控温稳定度:±1℃; 2.3温度均匀度:±2%℃(260℃平台);
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下面为大家介绍一下石墨盘烤盘炉
一.产品介绍
真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。
二、设计特点
1、后门设计热风电机
2、降温时风机开启,同时两端降温封头开启,炉膛内产生如图所示的气体流向
3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换,达到快速降温的目的
三、技术指标
1、使用温度:1450℃;比较高温度:1500℃;
2、绝热材料:石墨纤维毯、石墨纸;
4、加热元件:石墨加热棒;
5、冷却方式:气冷 + 循环风冷降温;
6、控温稳定度:±2℃,具有PID参数自整定功能;
7、炉膛温度均匀度:±5℃(恒温1500℃);
8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%;
9、极限真空: 10-3torr级;
10、抽气速率:空载下,30min达到10-2torr
11、升温功率:170kW;
12、升温速率:15℃/min(空载);
13、降温速率:1450℃至80℃,240分钟
14、腔体尺寸:1000*1000*1000mm(宽*深*高) 四川工业烤箱合肥真萍科技-工业烤箱生产厂家。
真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。
一、氮气监控系统:
1.1、2.3” LED 大屏幕数字显示湿度/温度。
1.2 、温湿度显示值0.1%-99.9%RH,温度显示值0.1℃-60.0℃。
1.3 、温湿度收集采准确传感器,长距离传输无误差。
1.4 、湿度控制:
2.4.1利用湿度设定值来控制氮气流入,到达湿度设定值即停止进气,节省氮气耗用。
2.4.2湿度在1%-60%RH 可调整。
1.5、温湿度记录功能:
2.5.1内建内存,可储存温度/湿度,收集时间1~240 分钟可自行设定。
2.5.2可利用RS232连接阜下载至计算机中读取。
2.5.3 品管记录格式设计,有助于内部记录追踪并可支持数据库档案格式。
1.6、湿度警报系统:
1.6.1可设定启动警报的湿度值及条件,内配蜂鸣器(90分贝)及闪烁警示功能。
1.6.2可另外选配积层式警示灯。
1.7、温湿度偏移校正功能:内建校正功能,确保显示准确度。
HMDS 预处理系统的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲 水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。
增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。 真萍科技是从事热处理设备、烘烤制程设备、环境与可靠性试验设备、半导体黄光区**设备等产品专业供应商。
质量连续炉的产品特点:
1、双边配有链条传动,解决传送过程中跑偏的现象;
2、烘箱分段式加热,**电箱控制,方便操作,结构主要由输送机系统与烘干炉两大部分组成,多段**;
3、PID温度控制,炉内温度均匀;
4、输送速度变频调速,调节自如,运行平稳,产能高;
5、每段**箱体设置废气排放接口,可外接到车间外面,避免车间废气污染。
质量连续炉的术参数:
1、送风方式:送风循环系统;
2、温度范围:RT+30℃~300℃;
3、温度精度:±1℃
4、温度均匀性:±1℃
5、温控装置:富士智能PID温控仪,LED数字显示,PID自动演算及定时;
6、材质:内胆不锈钢,外箱体钢板静电喷塑;
7、传送方式:链杆、链网、自动锟轮,相当强承重;
8、复合式电加热器;
9、保护装置:漏电保护、断路保护、电机过载保护、接地保护、非正常运行情况下蜂鸣报警。 工业烤箱有哪些种类?合肥真萍科技告诉您。浙江工业烤箱厂家
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HMDS真空烤箱主要技术指标:
1. 机外壳采用冷扎钢板喷塑处理,内胆为不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。
2. 箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。
3. 微电脑智能控温仪,具有设定,测定温度双数字显示和PID自整定功能,控温精确,可靠。
4. 智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序,温度,真空度及每一程序时间。
5.HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用质量材料制造,无发尘材料,适用100级光刻间净化环境。
6 HMDS管路加热功能,使HMDS液体进入箱体的前端管路加热,使转为HMDS气态时更易。
7. 低液报警装置,采用红外液体感测器,能及时灵敏给出指令(当HMDS液过低时发出报警及及时切断工作起动功能)
8. 温度与PLC联动保护功能(当PLC没有启动程序时,加温功能启动不了,相反加温功能启动时,PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能,发出警报)
9.整个箱体及HMDS气体管路采用SUS316不锈钢材料,整体使用无缝焊接(避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害)
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