干式真空泵的种类特征
螺杆式:利用螺杆型Rotor进行排气输送的容积移送式干式真空泵。
罗茨式:在3片式Rotor和Casing之间的空间运送气体的容积移送式干式真空泵。
爪式:复数的爪型Rotor以轴平行排列,进行相互逆回转来移送气体的干式真空泵。
涡旋式:利用涡旋型的Stage及Rotor的运动组合来进行排气的真空泵。
隔膜式:藉由利用气缸内的隔膜的来回运动来进行排气的容积移送式真空泵。
活塞式:利用气缸内的活塞的来回运动来进行排气压缩以及排气的容积移送式真空泵。 樫山工业Neodry36E小型风冷干式真空泵成为等离子清洗机制造商的新宠。广州NEODRY 36E干式真空泵报价
日本KASHIYAMA SDE603X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
SDE603X |
MAX排气速度(L/min) |
10000 |
达到压力(Pa) |
0.5 |
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
消费电力(KW) |
1.6KW |
外型尺寸WHL [mm] |
400×905×760 |
二、 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
SDE603X主机一台 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 成都NEODRY 30E干式真空泵正规代理干式真空泵的主要优势是。
KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍)
SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min,立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。
系统组成:
1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1
2) 机械增压泵(KMB603) 1
3) 电源盒 1
4) 操作手柄1
5) 连接件 1
6) 消音器(SR-19) 1
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近期很多朋友咨询反馈自己生产中的液环式真空泵由于夏天温度高,真空度上不去,叶轮也由于腐蚀和气蚀经常换,用的无油螺杆泵、爪泵转子经常被卡死盘不动车,而且由于腐蚀真空度上不去,排气口还有喷油现象。种种现象维修虽然花不了多少钱,但是影响生产,一个班组的人都等着泵修好,下面的人瞪着眼看着,上面领导脸色又不好,很是尴尬难受!因此我们这一辑内容就来为大家介绍干式真空泵,干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段,如日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,提高了产品的性能和质量。干式真空泵批发就找浚和(上海)仪器有限公司。
日本KASHIYAMA SDL20E60干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
SDL20E60 |
MAX排气速度(L/min) |
40000 |
达到压力(Pa) |
0.8 |
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
外型尺寸WHL [mm] |
850×1295×1370 |
重量(kg) |
800 |
二、 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
SDL20E60主机一台 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 买日本樫山工业干式真空泵选择浚和(上海)仪器有限公司。NEODRY 30E干式真空泵授权代理
对于不同的需求我们选择不同的干式真空泵系列。广州NEODRY 36E干式真空泵报价
日本KASHIYAMA MU30N18P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样:MU30N18P/H
MAX排气速度(L/min):50000
达到压力(Pa):0.5
电源电压:3相 AC200-220V
消费电力(KW):1.6KW
外型尺寸WHL [mm]:1000×450×950
质量【kg】:410kg
二、 配置清单:
序号
描述
数量
备注
1
MU30N18P/H主机一台,电压AC三相200V
1
标配
2
电源线
1
标配
3
冷却水管路接头
1
标配
4
操作手柄
1
标配
5
产品合格证
1
标配
6
消音器(原厂件,选配)
未包含
7
入口过滤器(选配,非原厂件)
未包含
设备原产地:日本
广州NEODRY 36E干式真空泵报价
排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。维护性○・基本上免维护△・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。(根据使用情况,需要频繁更换)维护成本○・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少,O/H费用便宜。・抽 气部分无物理接触,无因磨损更换部件。△・油需定期更换产生费用。(使用氟油的情况费用较高)・需要更换叶片及阀门。(因叶片为接触式)初始投资成本△・与油泵相比相对较高。○・与干泵相比较便宜。配套设备费用○・不需要油雾凝气阀△・需要油雾凝气阀。・需要油盘。浚和(上海)仪器有限公司是一家专业...