上海NEODRY 30E干式真空泵「浚和仪器供应」

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

对于不同的需求我们选择不同的干式真空泵系列。上海NEODRY 30E干式真空泵

日本KASHIYAMA SDE20M09X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE20M09X
MAX排气速度（L/min）	30000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
消费电力（KW）	2.6KW
外型尺寸WHL [mm]	460×960×900

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE20M09X主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。北京MU180X干式真空泵中国授权代理商干式真空泵的主要特点都有哪些呢？

日本KASHIYAMA MU300P/H干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU300P/H
MAX排气速度（L/min）	5000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	0.9KW
外型尺寸WHL [mm]	350×520×630
质量【kg】	110kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU300P/H主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA SDE1220干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE1220
MAX排气速度（L/min）	20000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
外型尺寸WHL [mm]	400×780×930

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE1220主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

干式真空泵的不同系列会有不同的优势。

通过对内表面温度的控制以满足新的ATEX防爆条例的要求。由于能够维持小的内部温度，从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应；轻松的输送腐蚀性介质，安全的输送易燃易爆气体。1）清洁环保；2）真空度高；3）防腐设计（**技术）；4）可抽除可凝性气体及少量粉尘气体（**技术）；5）特殊轴封设计，杜绝被抽介质与润滑系统互相污染；6）防过载设计；7）运转平稳；8）高标准配置；9）附件配置齐全10）质量健全的零配件供应。浚和（上海）仪器有限公司提供小型风冷的干式真空泵。南京SDL12E50干式真空泵销售电话

4 半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.上海NEODRY 30E干式真空泵

螺杆干式真空泵特征：

①可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少，没有易损件，因此它运转可靠，寿命长。

②操作维护方便。

③动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力，机器可平稳地高速运行。

④适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响.

⑤多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。上海NEODRY 30E干式真空泵

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