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隔振台基本参数
  • 品牌
  • Herz
  • 型号
  • AVI-200SLP,AVI-200SLP,AVI-200XLP,AVI-400SLP,AVI-40
  • 产地
  • 瑞士
  • 是否定制
隔振台企业商机

TS-150支撑面测试:

尽管这些系统几乎可以在任何支撑面上运行,但采用软支撑结构共振放大某些建筑物的振动频率,因此这些振动频率会降低隔离的。

您可以通过观察诊断信号来了解支持结构的适用性同时推动支持。 此测试应禁用隔离。 如果支撑是刚性的信号几乎不应响应任何方向对支撑的推动。 现在尝试点击支持激发其内部共鸣。 通常,支架会对水平**产生更强烈的反应而不是垂直的。 一个非常共振的支撑将显示长寿命的共振,并且隔离将

在这些频率上受到严重影响。 更好的支撑将显示出良好的阻尼共振。


所有范围内为±5%。控制单元必须与相应的测量头一起使用!半导体隔振台自动化测量

半导体隔振台自动化测量,隔振台

TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振  从0.7 Hz 到100 Hz

在21世纪纳米技术(即先进的半导体**相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产), 振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑 制因素。

在纳米技术中,为了获得可靠的结果,使用充气被动隔振台无法隔离低频振动,此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。

装载设备:

扫描电子显微镜,如 AFM3D表面分析仪,激光显微镜,激光干涉仪,液体表面张力测量系统,显微硬度测量仪,

医疗检测设备等 中芯国际隔振台优惠价格从低频率起提高一个隔振环境。

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使用说明书

解锁系统后,将设备放置在平坦且坚固的桌子上或地下。

调整负载补偿:

将负载放在**上面,并使用以下三个调整负载补偿侧面的车轮到外壳和顶板之间的距离为2mm。

沿+方向旋转轮子以增加负载补偿方向旋转车轮以减少负载补偿

按下并检查每个角是否有约0.5mm的自由移动。轻轻地上下拉顶板!

更改负载后,检查每个角是否自由移动!

将电源插头连接到背面的输入电源插座。

按下背面的电源按钮打开设备“ POWER” LED将点亮,而“ ACTIVE” LED开始闪烁。

大约30秒钟后,“活动” LED将保持点亮状态,并且系统现在可以使用了。

您可以通过按“启用”按钮来打开和关闭活动隔离。


TS-C

TS-C系列是紧凑的动态防振系统,可隔离所有六个平移和旋转振动模式。

这些价格适中的动态振动隔离系统在体积上却比比较大,**昂贵的无源系统更好地实现了隔离。使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动,还可以隔离放置在系统本身上的振动源。例如,这意味着即使通过操作员的手施加了力,由系统隔离的精密显微镜也将保持静止。


该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍,可提供出色的方向和位置稳定性。

有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振,这种共振困扰着所有无源隔离系统。


该系统的设计即使在低至2-3

Hz的频率下也能提供出色的隔离度,在该频率下,许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。 AVI 200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式。

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LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI元件的开关输出,这些AVI元件以任意4个矩形方向(即平行或直角)放置,不允许其他方向。

面向LFS传感器的蓝色LED直立。将***个AVI元件连接到后面板上的12个D-Sub15插座中的任何一个。使用笔在位置A和D之间滑动开关。

传感器的位置:

传感器可以移动到任何所需位置。它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元件的同一表面上。连接后,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。

支承面刚度:

支承面的刚度很重要。水平传感器无法区分水平加速度和倾斜。因此,LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬,以便在附近移动时不会明显倾斜。倾斜将导致传感器输出饱和,隔离将失效。 TS-C系列具有通用输入,可以连接到100至240 VAC 的任何交流电源。中芯国际隔振台优惠价格

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性。半导体隔振台自动化测量

AVI400-S

AVI 400-S的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元,比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型模块的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-S适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。

AVI 400-S的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 400-S系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 400-S的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 400-S紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的概念-因此,在装置上放置沉重的设备(例如SEM)时,避免了任何复杂的过程。


技术指标:

频率: 1,2-200 Hz

负载范围: 0-800公斤

(单个): 400公斤 半导体隔振台自动化测量

岱美仪器技术服务(上海)有限公司位于金高路2216弄35号6幢306-308室,交通便利,环境优美,是一家贸易型企业。公司是一家其他有限责任公司企业,以诚信务实的创业精神、专业的管理团队、踏实的职工队伍,努力为广大用户提供***的产品。公司始终坚持客户需求优先的原则,致力于提供高质量的半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪。岱美中国将以真诚的服务、创新的理念、***的产品,为彼此赢得全新的未来!

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