高性能高效高温无氧烘箱安全性

气氛炉经工艺试验保养工作

       设备于材料试验、合成、烧结等，在日常使用后用户也应注意到设备的保养工作，保养时我们应该定期检查的项目有：  

       1、使用时不得超过额定功率，炉温不得超过*高使用温度。禁止将潮湿工件装入炉膛内，含有过高水份的被加热工件应预先烘干。  

       2、保持炉膛清洁，对炉内的金属氧化物，炉渣和杂质等应及时清洁。装卸工件时应谨慎，以防碰坏硅钼棒。  

       3、硅钼棒碱、碱金属、硅酸及硼化合物在高温下对它能起腐蚀作用，水蒸气对它有强烈的氧化影响，氢及含有大量氢的气体在高温时会分解硅钼棒，使用时必须严加注意、  

       4、车间须配备1/2管以水源后力达0.2MPa.  

       5、接通充气口充入CO2及其它保护气体，当气氛炉压力表指示在0.02～0.04MPa时，停止充气。  

       6、通过调查流量和控制出水口温度在40℃。  

       7、当炉温升高，应随时注意，压力长，间断打开放气阀门，使炉胆内的压力在0.1MPa以下，这时胆的油烟等杂质可随之排出。  

       8、实行光亮退火，在升温时打开放气阀，随后充入保护气体，流量由小变大，当炉内压力为正压时，即关闭全部阀门，此工艺应经工艺试验，由熟练工人掌握。 加热管的材质正常情况下用碳钢或者不锈钢304材质，若烘烤产品带有弱酸碱性液体，可以采用不锈钢316材质。高性能高效高温无氧烘箱安全性

三分钟掌握气氛炉的注意事项

       1、除了做实验外，不要停留在高温炉管区。

       2、实验工作完毕时，若无人继续使用，请关特殊气体，保留N2运动，炉管保持在standby温度，并查看是否有其它电源该关而没有关，如灯光、煮酸用的小电炉或其它，请随手关掉。

       3、处理氢氟酸时，请戴手套，如不小心碰到氢氟酸时，请立刻冲水，用葡萄酸钙加2%水，揉擦伤处15’。

       4、石英玻璃制品请小心使用，以免破裂，引起严重割伤。

       5、避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。

       6、**钾不可与酸类混置，因两者可产生剧毒之**钾气体。

       7、一旦发现有妨碍安全之事物时，请立即通知有关人员。

       8、操作气氛炉的时候，请节约纯水用量。

       9、破晶片、滤纸、棉花棒等，请匆掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板渍水。

       10、长短推杆之前端，在还没使用到时，请朝上以免污染。

       11、晶片进出炉口时，请匆碰触炉管口，以免污染炉管。 YAMATO高温无氧烘箱高温烘烤买日本YAMATO光刻胶烤箱选择浚和（上海）仪器有限公司。

烘箱安装要求及检查调整

1、安置地点要求：

①地面须水平

②通风须良好，落尘量较少

③不要放置在潮湿地方

④不要暴露在易燃或腐蚀性气体下（特殊烤箱除外）

⑤尽可能使可燃物远离

⑥环境温度匆过高

2、安置间隔要求：

①理想操作环境机身各方距墙60公分以上

②理想操作环境机身与机身间隔60公分以上

3、电源安装要求：

①请依电器铭板上所订之电源规格接电

②电压变动率必须在额定值±5%内

③为避免电击意外发生，机台本身必须接地（依电工法规第三种接地法实施对地电阻100Ω以下）

④不可将有漏电断路器烤箱与无此装置烤箱共用接线线路

4、水平调整：

①机台定位后，须调整水平

5、电源接线：

机台定位完成后，可由机台后方电源电缆线，并依接线端子板上之标示规格完成电源接线之工作

6、送风马达调整

使用高温炉应该选择储备哪些备件？

1、加热元件和隔热屏

       加热元件和隔热屏蔽作为手头备件是特别重要的，因为它们是高温炉的心脏，具有许多不同的大小和配置，往往又不是一个容易储存的部件。这些部件会随着时间的推移缓慢降解，具体取决于它们所接触到的温度、气体和污染物。检查加热器和屏蔽工作效率的一个简单方法，是将给定温度下热区的用电量与操作手册中列出的功耗进行比较。如果总体KVA使用量增加，或者电压和电流与这些数字严重偏离，则可能表示加热器有一定损耗。温度均匀性测试还可以提供有关加热区状况的重要数据。

2、传感器

  热电偶通常是用于测量温度的主要传感器。虽然它们通常被护套延长寿命，但随着时间的推移，它们容易漂移，需要定期更换，以确保准确的反馈温度。真空和压力传感器也需要定期检查精度和性能。许多用户都有一个校准计划来做到这一点。

3、密封

  密封件相对便宜，建议在进行维护时更换，以确保真空完整性。对于正压运转的炉子，室内气废气阀是另一个应作为备用物品保留的物品。这些阀门可能暴露于许多挥发性物质，它们往往聚集在这个阀门上，通过他们冷却排出炉体。

气氛炉的炉结构与一般热处理炉的炉结构基本相似

       气氛炉的炉结构与一般热处理炉的炉结构基本相似，其设计和计算方法相似。 但是，由于要将受控气氛引入炉内，除了相应的附加装置如气氛发生装置，管道系统和滴灌系统外，还应满足炉子结构的某些特殊要求。

       1.密封性好。 炉壳主要由连续焊缝组成，活动可拆卸件由石棉绳和水玻璃制成，密封用螺钉压紧：炉体密封部分采用密封填料，压紧法兰，油封密封。 和水冷套; 材料端的前端和后腔配有两个炉门，它们交替地打开和关闭，以防止空气直接进入炉子; 在门和炉门上按压砂封槽和滚轮，倾斜块，螺栓，炉门倾斜3°。  7°重力压缩密封，或使用防火帘密封等; 定期检查管道系统是否泄漏。

       2.大气均匀流动。 合理选择进风口和排气口的位置，充电时留有间隙，并考虑气流。 用于化学热处理的可控气氛炉通常配备有风扇以迫使大气流动。

       3.合适的加热元件。为了防止炉内气氛作用于加热元件和炭黑沉积引起的短路现象，可控气氛炉的加热元件通常采用板状抗渗碳电热元件（低压和大电流电源）或辐射管加热元件，隔离气氛。

       4.设置前后腔室，淬火槽用炉体密封。 在前室和后室进料和排出后，泵送真空并重新填充保护气体，减少了大气消耗。

       5.配有安全防爆装置。 

俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DTN630C洁净厌氧高温气氛炉。广东实验室仪器高温无氧烘箱

YAMATO洁净厌氧高温气氛炉应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。高性能高效高温无氧烘箱安全性

DNN460C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

规格：

内尺寸（宽×深×高mm）：450×450×450

外形尺寸（宽×深×高mm）：1240×1010×1750

内容积：91L

棚板层数/层间距：12层/30mm

排气口：40KF法兰

氮气入口：Rc1/2

冷却水入口：Rc3/4

热水出口：Rc3/4，2个

电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 20A

重量：约800kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

--------------------------------------