成都NEODRY 30E干式真空泵维修「浚和仪器供应」

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

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但是由于干式真空泵运行时内部存在苛刻的热条件，所以使用上述耐腐蚀材料来处理腐蚀性介质对无油干式真空泵是不适合的。此外使用铁剂金属高镀镍涂层材质，一旦出现细微的裂纹就会导致材料产生迅速的电化学腐蚀。那么是不是只要特殊设计能可靠地控制温度的设备把腐蚀性介质保持在气相状态，没有离子形式存在是不是就不存在腐蚀了？答案是肯定的。该泵应用其自身先进的冷却系统，可以调整泵腔内及转子的温度，使之没有离子形式存在，全都气化，从而避免腐蚀。所以此螺杆干式真空泵转子采用不锈钢，不做任何涂层，降低了成本，增加了安全性能。 MU180X干式真空泵价格买日本樫山工业干式真空泵选择浚和（上海）仪器有限公司。

日本KASHIYAMA MU1218X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU1218X
MAX排气速度（L/min）	20000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	O.9KW
外型尺寸WHL [mm]	870×380×751
质量【kg】	270kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU1218X主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA SDE303TX干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE303TX
MAX排气速度（L/min）	5000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
外型尺寸WHL [mm]	400×905×760

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE303TX主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

浚和（上海）仪器有限公司专业干式真空泵供应商。

日本KASHIYAMA NEODRY 15E 技术参数以及配置清单

一、 NEODRY 15E技术参数：

式样	NEODRY 15E
Max排气速度（L/min）	250
达到压力（Pa）	1
电源电压	单相AC200-220V
外型尺寸WHL [mm]	210×250×385
吸气口	KF25
噪声	≤60DB
排气口	KF25
质量【kg】	23kg

二、NEODRY15E 配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	NEODRY 15E主机一台，电压AC三相200V或者单相200V可选	1	标配
2	电源线	1	标配
3	产品合格证	1	标配
4	气振阀（选配）		未包含
5	消音器（选配）		未包含
6	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

干式真空泵的系列有很多种。无锡干式真空泵正规代理

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日本KASHIYAMA SDE20M09X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE20M09X
MAX排气速度（L/min）	30000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
消费电力（KW）	2.6KW
外型尺寸WHL [mm]	460×960×900

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE20M09X主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。成都NEODRY 30E干式真空泵维修

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