吉林高温无氧烘箱DTN430C

DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)

洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。

特点

● MAX工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。

● 采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境下进行高温烘烤。

● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量极低。

● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。

安全性

● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。 俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DNN630C厌氧高温气氛炉。吉林高温无氧烘箱DTN430C

三分钟掌握气氛炉的注意事项

       1、除了做实验外，不要停留在高温炉管区。

       2、实验工作完毕时，若无人继续使用，请关特殊气体，保留N2运动，炉管保持在standby温度，并查看是否有其它电源该关而没有关，如灯光、煮酸用的小电炉或其它，请随手关掉。

       3、处理氢氟酸时，请戴手套，如不小心碰到氢氟酸时，请立刻冲水，用葡萄酸钙加2%水，揉擦伤处15’。

       4、石英玻璃制品请小心使用，以免破裂，引起严重割伤。

       5、避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。

       6、**钾不可与酸类混置，因两者可产生剧毒之**钾气体。

       7、一旦发现有妨碍安全之事物时，请立即通知有关人员。

       8、操作气氛炉的时候，请节约纯水用量。

       9、破晶片、滤纸、棉花棒等，请匆掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板渍水。

       10、长短推杆之前端，在还没使用到时，请朝上以免污染。

       11、晶片进出炉口时，请匆碰触炉管口，以免污染炉管。 实验室仪器高温无氧烘箱高温烘烤对于正压运转的高温炉，室内气废气阀是另一个应作为备用物品保留的物品。

DNN430C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

①使用温度范围：室温+50～360℃

②温度调节精度：±0.5℃（at360℃）

③温度分布精度：±5.0℃（at360℃）

④MAX温度到达时间：约80分钟

⑤氧浓度：20ppm 以下

⑥氧浓度到达时间：≤ 20分（250L/min 氮气）

3、构成：

①内装：不锈钢板

②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

③断热材：硅酸铝棉

④加热方式：不锈钢加热管

⑤加热功率：主加热器6.75KW

⑥N2预热：1KW

⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

4、控制器：

①温度控制方式：PID控制

②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

⑤附加功能：操作员等级认证

⑥加热器回路控制：SSR驱动

⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：

       门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等

DTN450C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

①使用温度范围：室温+50～500℃

②温度调节精度：±1.0℃（at500℃）

③温度分布精度：±8.0℃（at500℃）

④MAX温度到达时间：约110分钟

⑤氧浓度：20ppm 以下

⑥氧浓度到达时间：≤ 20分（250L/min 氮气）

⑦洁净度：温度恒定时100级

3、构成：

①内装：不锈钢板

②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

③断热材：硅酸铝棉

④加热方式：不锈钢加热管

⑤加热功率：主加热器9.5KW

⑥N2预热：1KW

⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

⑧HEPA过滤器：集尘效率：0.3um粒子99.97%以上

4、控制器：

①温度控制方式：PID控制

②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

⑤附加功能：操作员等级认证

⑥加热器回路控制：SSR驱动

⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等 在气氛炉系统检漏时，除用泥糊堵外，也可用医用针管吸乙醚射至漏点处，观察真空表读数有无变化。

烘箱安装要求及检查调整

1、安置地点要求：

①地面须水平

②通风须良好，落尘量较少

③不要放置在潮湿地方

④不要暴露在易燃或腐蚀性气体下（特殊烤箱除外）

⑤尽可能使可燃物远离

⑥环境温度匆过高

2、安置间隔要求：

①理想操作环境机身各方距墙60公分以上

②理想操作环境机身与机身间隔60公分以上

3、电源安装要求：

①请依电器铭板上所订之电源规格接电

②电压变动率必须在额定值±5%内

③为避免电击意外发生，机台本身必须接地（依电工法规第三种接地法实施对地电阻100Ω以下）

④不可将有漏电断路器烤箱与无此装置烤箱共用接线线路

4、水平调整：

①机台定位后，须调整水平

5、电源接线：

机台定位完成后，可由机台后方电源电缆线，并依接线端子板上之标示规格完成电源接线之工作

6、送风马达调整 高温炉密封件相对便宜，建议在进行维护时更换，以确保真空完整性。YAMATO高温无氧烘箱选购

高温充氮烘箱在使用中干燥物品速度非常快，这是一般的烘箱所不能比的。吉林高温无氧烘箱DTN430C

DNN660C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

规格：

内尺寸（宽×深×高mm）：660×500×660

外形尺寸（宽×深×高mm）：1450×1060×1960

内容积：216L

棚板层数/层间距：19层/30mm

排气口：40KF法兰

氮气入口：Rc1/2

冷却水入口：Rc3/4

热水出口：Rc3/4，2个

电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 27A

重量：约1000kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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