无锡NEODRY 36E干式真空泵「浚和仪器供应」

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

日本KASHIYAMA SDL36E60干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDL36E60
MAX排气速度（L/min）	60000
达到压力（Pa）	0.8
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
外型尺寸WHL [mm]	850×1295×1370
重量（kg）	920

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDL36E60主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。浚和（上海）仪器有限公司的干式真空泵产品种类繁多。无锡NEODRY 36E干式真空泵

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

成都MU100X干式真空泵维修点干式真空泵的无油环保特点成为了他的一个重要因素。

日本KASHIYAMA MU300P/H干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU300P/H
MAX排气速度（L/min）	5000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	0.9KW
外型尺寸WHL [mm]	350×520×630
质量【kg】	110kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU300P/H主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA NEODRY 30E 技术参数以及配置清单

一、 NEODRY 30E技术参数：

式样	NEODRY 30E
MAX排气速度（L/min）	500
达到压力（Pa）	1
电源电压	单相AC200-220V
外型尺寸WHL [mm]	210×250×450
吸气口	KF40
噪声	≤60DB
排气口	KF25
质量【kg】	25kg

二、NEODRY30E 配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	NEODRY 30E主机一台，电压AC三相200V或者单相200V可选	1	标配
2	电源线	1	标配
3	产品合格证	1	标配
4	气振阀（选配）		未包含
5	消音器（选配）		未包含
6	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

浚和（上海）仪器有限公司为日本樫山工业干式真空泵中国区授权代理商。

干式真空泵与油泵的性能比较：

项目	ＮｅｏＤｒｙ Series 干式真空泵		油泵
特征	○	・不使用液体密封泵腔，可以得到干净的真空。	△	・使用油密封得不到干净的真空。・排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况，密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。
维护性	○	・基本上免维护	△	・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。（根据使用情况，需要频繁更换）
维护成本	○	・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少，O / H费用便宜。・抽气部分无物理接触，无因磨损更换部件。	△	・油需定期更换产生费用。（使用氟油的情况费用较高）・需要更换叶片及阀门。（因叶片为接触式）
初始投资成本	△	・与油泵相比相对较高。	○	・与干泵相比较便宜。
**设备费用	○	・不需要油雾凝气阀	△	・需要油雾凝气阀。・需要油盘。半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.广州NEODRY 30E干式真空泵正规代理

一个好的干式真空泵需要具备哪些特点您了解吗？无锡NEODRY 36E干式真空泵

日本KASHIYAMA SDE1220干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE1220
MAX排气速度（L/min）	20000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
外型尺寸WHL [mm]	400×780×930

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE1220主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

无锡NEODRY 36E干式真空泵

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