5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下，使模块从一侧到另一侧（而不是从前到后）横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧，不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40，则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝内，相互朝向。如果您安装的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40，则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝外，彼此远离。
6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板，前后各27.5英寸，两侧各27英寸，在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时，确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。
7、系统就位后，使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜，直到其落在安装板上。抬起水平尺，直到它们向上并离开。 TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性。日本隔振台可以试用吗
AVI-产品参数：AVI-200系列（负载：**多800kg）
型号：AVI-200SLP，AVI-200MLP，AVI-200XLP
系统形状：控制器与防振单元分离型
主动控制范围：被动隔振范围200Hz以上
确认防振状态：使用控制器背面的BNC连接器，外部连接前面的8个LED指示防振状态
尺寸：120×396×130×636×130×856×
控制器尺寸：241×287×142毫米
承重：400kg
单位重量：约9kg
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电源电压：95-240VAC50-60赫兹
耗电量：普通9W
工作温度范围：5℃〜40℃
工作湿度范围：10〜90％（5〜30℃）・10〜60％（30〜40℃）
可选零件（1）装载板，石板，铸铁板*另行咨询选装（2）高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。 HERZ隔振台研发生产必须改善测量环境，以发挥仪器的极大效能，达到比较好成果。
LFS
LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，直到频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上，并与标准AVI / LP系统结合使用在前馈环路中，以提高非常低频率的振动隔离。LFS可以改装为现有的AVI-LP系统。
LFS-3的设计、制造和测试均符合测量和控制设备的安全规定，并满足EEC指令73/23的相关要求。系统符合EEC指令89/336（电磁兼容性）
每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要，但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub 15插座（诊断插座）连接到传感器。
TS-140+40技术指标：
频率 负载范围 尺寸
0,7-1000 Hz 50-180公斤 500 x
600 x 84毫米
隔离：
动态0.7Hz至1kHz无源（超过1kHz）
传递率：
参见附件曲线10 Hz以上的透射率<0.01（-40dB）
矫正力：垂直+/- 8 N 水平+/- 4 N
静态合规性：垂直约12 µm
/ N 水平30-40 µm / N
比较大负载：50-180公斤
尺寸：500 x 600 x
84毫米
重量：28.5公斤
TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计
这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。
在公制（M6 x 25mm）或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。
安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。
地板上没有AVI产品加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）
加上AVI产品开启隔振功能后，加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）
Herz
Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器
LFS-3性能LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。谢谢！ Herz授权岱美仪器代理其生产的隔振台含AVI和TS系列。台阶仪隔振台代理价格LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，频率约为0.2Hz。日本隔振台可以试用吗
TS-150
TS-150结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计
TS 150的隔离频率始于0.7 Hz，超过10Hz时迅速增加至40db
缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性
TS 150的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式
精确的**于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平
遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”
频率：0,7-1000 Hz
负载范围：0-150公斤
尺寸 ：400 x 450 x 78.5 毫米
TS-150结合了久经考验的技术***性和优雅且用户友好的设计。TS 150的隔离频率始于0.7 Hz，超过10Hz时迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多。
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性。TS 150的出色性能包括所有六个平移和旋转振动模式精确的**于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平。遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”用户友好，实用的操作优势是创新建筑理念的结果。
TS-150的高度*为78.5毫米
TS-150的重量*为17.5千克 日本隔振台可以试用吗
岱美仪器技术服务（上海）有限公司主要经营范围是仪器仪表，拥有一支专业技术团队和良好的市场口碑。岱美中国致力于为客户提供良好的半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪，一切以用户需求为中心，深受广大客户的欢迎。公司从事仪器仪表多年，有着创新的设计、强大的技术，还有一批**的专业化的队伍，确保为客户提供良好的产品及服务。岱美中国秉承“客户为尊、服务为荣、创意为先、技术为实”的经营理念，全力打造公司的重点竞争力。
