1.更换SEM侧面板(如有必要)。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。 检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。
2.将电源线插入控制器背面。
翻转前面板上的“ ON”开关。 按红色按钮启用活动隔离。
3.几秒钟后,使能LED指示灯将变稳定,指示系统已正确隔离。 轻轻敲击SEM时,控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。
4.如果一个或多个指示灯持续亮起,或者在正常情况下指示灯不熄灭,或者如果点击不亮,则表明传感器过载。
请仔细检查以下内容:没有任何东西触及模块,连接模块和SEM的所有电缆均松弛,并且已针对负载适当调整了模块。 AVI系列可以在非常宽的频率范围内为激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。SEM隔振台研发可以用吗
TS特点:
◎在全部的6个自由度范围内,从0.7Hz到100Hz,TS系列产品提供优良的主动隔振性能。
◎当仪器装载时,高度调整会自动进行。
◎即使当负载偏离中心时,自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时,给予稳定性。
◎通过按下前方的按钮,系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。
◎前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。
◎主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用 SEM隔振台原理AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪等提供极好的隔振效果。
TS-140
TS-140结合了久经考验的技术特点与优雅且对用户友好的设计
这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。
在公制(M6 x 25mm)或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。
TS-140结合了久经考验的技术特点与优雅且用户友好的设计
TS-140的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40db
缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性
TS 140的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式
精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平
遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”
用户友好,实用的操作优势是创新建筑理念的结果
TS-140的高度*为84毫米
TS 140的重量*为28.5千克
技术指标:频率负载范围尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米
隔离:动态(超过1kHz)
透射率:参见附件曲线10Hz以上的透射率<(-40dB)
矫正力:垂直+/-8N水平+/-4N
静态合规性:大约垂直约12µm/N水平30-40µm/N
比较大负载:140公斤尺寸:500x600x84毫米
重量:28.5kg
电的安全等级:1个能量消耗:比较大10W负载调整时20W输入电压:115-230VAC+/-10%50-60Hz
超载:显示屏指示负载过重或严重失衡
监控信号:示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-*用于诊断目的
前面板显示菜单:显示仪器状态,包括:-高度调节-隔离开/关-过载-运输锁定-技术热线
桌上尺寸:500x600毫米。 隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。
AVI主动隔震台
AVI应用于扫描电镜
1、如有可能,拆下扫描电镜柱的侧板。
2、使用扫描电镜找平脚将立柱抬离地面至少6“。如有必要,在水平尺下放置木块以增加高度。
3、拆下主销后倾角和主销后倾角螺栓(如有必要)。
4、将***个铝制安装板放在扫描电镜下的地面上。前后各27.5英寸,左右各27英寸。用水平仪确保盘子坐平。按下所有角落,确保其与地面齐平。如果不水平或不齐平,则使用垫片确保水平,并在各侧均匀地放置在地面上。
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-*用于诊断目的。日本隔振台值得买
在过去的40年,HERZ发展成为被动式隔振设备的领头供应商 ,并在此领域积累了丰富的经验。SEM隔振台研发可以用吗
AVI400-M
AVI 400-M的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元,比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。
AVI 400-M的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 400-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 400-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的概念-因此,在装置上放置沉重的设备(例如SEM)时,避免了任何复杂的过程。
技术指标:
频率: 1.2-200Hz
负载范围: 0-800公斤
(单件): 400公斤 SEM隔振台研发可以用吗
岱美仪器技术服务(上海)有限公司是一家磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务 的公司,致力于发展为创新务实、诚实可信的企业。公司自创立以来,投身于半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪,是仪器仪表的主力军。岱美中国不断开拓创新,追求出色,以技术为先导,以产品为平台,以应用为重点,以服务为保证,不断为客户创造更高价值,提供更优服务。岱美中国始终关注仪器仪表市场,以敏锐的市场洞察力,实现与客户的成长共赢。