干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
干式真空泵的优点有很多。无锡SDE1220干式真空泵代理商
日本KASHIYAMA SDE20M12TX干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
SDE20M12TX |
MAX排气速度(L/min) |
30000 |
达到压力(Pa) |
0.5 |
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
外型尺寸WHL [mm] |
460×960×900 |
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
SDE20M12TX主机一台 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
深圳SDL12E50干式真空泵中国授权代理商干式真空泵多种系列供您选择。
日本KASHIYAMA MU1218X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
MU1218X |
MAX排气速度(L/min) |
20000 |
达到压力(Pa) |
0.5 |
电源电压 |
3相 AC200-220V |
消费电力(KW) |
O.9KW |
外型尺寸WHL [mm] |
870×380×751 |
质量【kg】 |
270kg |
二、 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
MU1218X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA SDE4060干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
SDE4060 |
MAX排气速度(L/min) |
60000 |
达到压力(Pa) |
0.8 |
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
外型尺寸WHL [mm] |
750×1200×1600 |
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
SDE4060主机一台 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
干式真空泵的各种系列应用领域还是不一样的。
而有的立式螺杆真空泵的冷却系统更独特,比如在泵内增加了螺杆内部冷却剂冷却及直接气体冷却,很好的维持内表面的温度,不至于温度过高或过低,始终维持在一个合适的温度,以防被抽的热敏性物质分解,及高温易聚合的物质,比如HCN及MMA生产企业就比较适合。众所周知,腐蚀是由于溶液里的酸性离子和碱性离子跟金属发生反应才造成的,温度越高腐蚀的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材质或是在转子上做一些防腐涂层来延缓腐蚀速率。 浚和(上海)仪器有限公司专业致力于干式真空泵生产。无锡SDE1220干式真空泵代理商
干式真空泵的主要特点有很多。无锡SDE1220干式真空泵代理商
日本KASHIYAMA MU20M18P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
MU20M18P/H |
MAX排气速度(L/min) |
30000 |
达到压力(Pa) |
0.5 |
电源电压 |
3相 AC200-220V |
消费电力(KW) |
2.0KW |
外型尺寸WHL [mm] |
500×950×1100 |
质量【kg】 |
340kg |
二、 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
MU20M18P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 无锡SDE1220干式真空泵代理商
浚和(上海)仪器有限公司致力于仪器仪表,以科技创新实现***管理的追求。浚和拥有一支经验丰富、技术创新的专业研发团队,以高度的专注和执着为客户提供真空泵,喷雾干燥机,培养箱,等离子清洗机。浚和始终以本分踏实的精神和必胜的信念,影响并带动团队取得成功。浚和始终关注仪器仪表行业。满足市场需求,提高产品价值,是我们前行的力量。
干式真空泵的种类特征螺杆式:利用螺杆型Rotor进行排气输送的容积移送式干式真空泵。罗茨式:在3片式Rotor和Casing之间的空间运送气体的容积移送式干式真空泵。爪式:复数的爪型Rotor以轴平行排列,进行相互逆回转来移送气体的干式真空泵。涡旋式:利用涡旋型的Stage及Rotor的运动组合来进行排气的真空泵。隔膜式:藉由利用气缸内的隔膜的来回运动来进行排气的容积移送式真空泵。活塞式:利用气缸内的活塞的来回运动来进行排气压缩以及排气的容积移送式真空泵。浚和(上海)仪器有限公司致力于提供干式真空泵,有需求可以来电咨询!西藏便携式干式真空泵商家0.8电源电压:3相A C200-220V,380...