轮廓仪、粗糙度仪、三坐标的区别:
关于轮廓仪和粗糙度仪
轮廓仪与粗糙度仪不是同一种产品,轮廓仪主要功能是测量零件表面的轮廓形状,比如:汽车零件中的沟槽的槽深、槽宽、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圆柱表面素线的直线度等参数。总之,轮廓仪反映的是零件的宏观轮廓。粗糙度仪的功能是测量零件表面的磨加工/精车加工工序的表面加工质量,通俗地讲,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老国标叫光洁度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微观情况。
但是,轮廓仪和粗糙度仪关系其实挺密切,现在有一种仪器叫做粗糙度轮廓测量一体机,就是在轮廓仪上加装了粗糙度测量模块,这样既可以测量轮廓尺寸,又可以测量粗糙度,市场上典型产品就是中图仪器的SJ5701粗糙度轮廓仪。
在结构上,轮廓仪基本上都是台式的,而粗糙度仪以手持式的居多,当然也有台式的。 轮廓仪对载物台xy行程为140*110mm(可扩展),Z向测量范围比较大可达10mm。自动测量轮廓仪原理
轮廓仪的功能:
廓测量仪能够对各种工件轮廓进行长度、高度、间距、水平距离、垂直距离、角度、圆弧半径等几何参数测量。测量效率高、操作简单、适用于车间检测站或计量室使用。
白光轮廓仪的典型应用:
对各种产品,不见和材料表面的平面度,粗糙度,波温度,面型轮廓,表面缺 陷,磨损情况,腐蚀情况,孔隙间隙,台阶高度,完全变形情况,加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
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NanoX-8000 3D轮廓测量主要技术参数
3D测量主要技术指标(1):
测量模式: PSI + VSI + CSI
Z轴测量范围: 大行程PZT 扫描 (300um 标配/500um选配)
10mm 精密电机拓展扫描
CCD相机: 1920x1200 高速相机(标配)
干涉物镜: 2.5X, 5X, 10X(标配), 20X, 50X, 100X(NIKON )
物镜切换: 5孔电动鼻切换 FOV: 1100x700um(10X物镜), 220x140um(50X物镜)
Z轴聚焦: 高精密直线平台自动聚焦
照明系统: 高 效长寿白光LED + 滤色镜片电动切换(绿色/蓝色)
倾斜调节: ±5°电动调节
横向分辨率: ≥0.35μm(与所配物镜有关)
3D测量主要技术指标(2):
垂直扫描速度: PSI : <10s,VSI/CSI:< 38um/s
高度测量范围: 0.1nm – 10mm
表面反射率: > 0.5%
测量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm
准确度 < 1nm
RMS重复性 < 0.01nm (1σ)
台阶高重复性:0.15nm(1σ)
VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm
准确度<1%
重复性<0.1% (1σ,10um台阶高)
随着时代的发展,轮廓仪也越来重要了,不少的产品检测都需要通过轮廓仪进行检测,***就让我们来了解一下轮廓仪的工作原理与应用吧。轮廓仪工作原理轮廓仪是一种双坐标测量仪器。仪器传感器相对于测量的工件台以恒定速度滑动。传感器的触针检测测量仪表的几何变化,并分别在X和Z方向上对其进行采样,并将其转换为电信号。电信号被放大和处理,然后转换成数字信号并存储在计算机系统的存储器中。计算机以数字方式过滤原始表格的轮廓,分离表面并计算粗糙度分量,测量结果为计算符号。某个曲线的实际值及其与参考点的坐标,或放大的实际轮廓曲线。测量结果通过显示器输出,也可以由打印机输出。轮廓仪应用轮廓仪***用于机械加工、汽车、摩托车、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光学元件等行业适用于研究机构、大学、计量机构和企业计量室。在汽车,摩托车和制冷行业,它可以测量活塞,活塞销,齿轮的总线参数和汽车,摩托车和压缩机的阀门柱塞,可以测量各种倾斜部件的参数。在轴承工业中,内护套环的密封槽的形状(角度,倒角R,槽深,槽宽等);各种滚子轴承的滚子和套圈母线的冠部,角度和对数曲线;电机轴,圆柱销,活塞销,滚针轴承,圆柱滚子轴承。隔振系统:集成气浮隔振 + 大理石基石。
轮廓的角度处理:
角度处理:两直线夹角、直线与Y轴夹角、直线与X轴夹角点线处理:两直线交点、交点到直线距离、交点到交点距离、交点到圆心距离、交点到点距离圆处理:圆心距离、圆心到直线的距离、交点到圆心的距离、直线到切点的距离线处理:直线度、凸度、LG凸度、对数曲线 。
白光轮廓仪的典型应用:
对各种产品,不见和材料表面的平面度,粗糙度,波温度,面型轮廓,表面缺 陷,磨损情况,腐蚀情况,孔隙间隙,台阶高度,完全变形情况,加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
轮廓仪可用于:散热材料表面粗糙度分析(粗糙度控制),生物、医药新技术,微流控器件。日本轮廓仪推荐厂家
自动聚焦范围 : ± 0.3mm。自动测量轮廓仪原理
超纳轮廓仪的主设计简介:
中组部第十一批“****”****,美国KLA-Tencor(集成电路行业检测设备市场的**企业)***研发总监,干涉测量技术**美国上市公司ADE-Phaseift的总研发工程师,创造多项干涉测量数字化所需的关键算法,在光测领域发表23个美国专利和35篇学术论文3个研发的产品获得大奖,国家教育部***批公派研究生,83年留学美国。光学轮廓仪可广泛应用于各类精密工件表面质量要求极高的如:半导体、微机电、纳米材料、生物医疗、精密涂层、科研院所、航空航天等领域。可以说只要是微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量,除了三维光学轮廓仪,没有其它的仪器设备可以达到其精度要求。(网络)。 自动测量轮廓仪原理
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