杭州高低温试验箱

下面为大家介绍一下高温钟罩炉的各项系统。 一、气氛系统。 1.炉膛气氛：2路空气，流量计量程为 7～70L/min，每路流量可调节； 2.排气系统：在炉膛顶部设置一个排气囱，用于废气排放。 二、传动系统 1.传动方式 ：升降式 2.传动类型 ：电动推杆传动 3.容积 ：20L 三、冷却系统 1.冷却结构 ：无 2.产品降温 ：随炉降温 四、安全保护 1.升、降、停按钮 ：载料台的升、降、停控制 2.报警指示：超温、断偶、过载、超程、偏差等声光报警 3.设备安全升温速率 ≤5℃/min 五、温度控制系统 1.温度测量:采用 B 分度热偶测量 2.控制方式：高性能移相调压+SCR 晶闸管模块控制 2.1当测量温度超过设定的安全值时，断加热，并报警 2.2当测量温度超过目标温度达到限制偏差值时，报警 3.控制仪表：采用进口智能调节仪控制。具有 PID 参数自整定、高 温上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能合肥真萍科技-试验箱生产厂家。杭州高低温试验箱

本篇介绍专业全自动HMDS真空烤箱，首先简单介绍一下HMDS 预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲 水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。   增黏剂HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。试验箱产品分类选择知识合肥真萍科技为您提供质量的定制试验箱价格。

真萍科技洁净烘箱是参照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造，广泛应用于电子液晶显示，LCD,CMOS,IC，医药实验室等生产及科研部门。下面为大家介绍一下洁净烘箱的的测控系统和控制系统。 一、测控系统 1.温度控制装置：日本进口温控器，内置PID自动整定，斜率设定功能 2.温度控制方式为SSR固态继电器功率调整输出，温度采集探头为特制铠装K型热电偶 3.温度监控装置：采用日本六通道巡回检测 有纸记录仪，可将烤箱内实时环境温度进行检测打印。 二、控制系统 1.操作控制系统，采用精密电子仪器仪表结合电力拖动系统控制，更快速，更稳定。 2.防护措施：紧急停止，超温保护,断线报警，相序保护，过载保护，短路保护，漏电保护，及电磁门禁保护等。

下面为大家介绍一下全自动HMDS真空烤箱的整机尺寸、真空腔体尺寸。 1.内胆尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm; 2.载物托架：2块 3.室温+10℃-250℃ 控温范围：温度分辨率：0.1℃ 温度波动度：±0.5℃ 4.真空泵：油泵或无油真空泵。真空度：133pa， 5.加热方式：腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板（防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态） 6.可放2寸晶圆片或4寸晶圆片；6寸晶圆片；8寸晶圆片等。 7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间（正常工艺在50分钟-120分钟（按产品所需而定烘烤时间），为正常工作周期不含降温时间（因降温时间为 常规降温）。合肥真萍科技为您提供专业的售后服务！

下面为大家介绍一下全自动HMDS真空烤箱的技术指标。 1.机外壳采用冷扎钢板喷塑处理，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2.箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。 3.微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。 4.智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。 5.HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用质量材料制造，无发尘材料，适用100级光刻间净化环境。试验箱的制作方法难吗？合肥真萍科技告诉您。宁波高低温恒定湿热试验箱

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电热鼓风烤箱适用于各种产品或材料及电气、仪表、元器件、电子、电工及汽车、航空、通讯塑胶、机械、食品、化工、化学品、五金工具在恒温环境条件下作干燥和各种恒温适应性试验。下面为大家介绍一下真萍科技电热鼓风烤箱的控制系统。 一、控制系统 1.采用数显微电脑温度控制器，控制精确可靠。 2.具有定时功能、控温保护功能，设有风机停转开关。 二、电气控制系统 1.电气控制元件均采用国内**品牌。 2.电气线路设计新颖，合理布线，安全性可靠。 3.箱体顶部为电器控制柜，方便于集中检查维修。杭州高低温试验箱

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