把手轻轻地放在桌面上。可能会有一个或多个LED亮起,表示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果您现在对桌面施加很大的力,所有过载指示灯都将亮起,隔离指示灯将闪烁几秒钟,表示系统在过载解除(待机模式)之前暂时不再隔离。卸下过载后,隔离灯应再次亮起,系统开始隔离。一些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段,系统也在隔离,但增益降低。严重过载后,系统可能需要半分钟才能完全隔离,但通常只需要几秒钟。在过去的40年,HERZ发展成为被动式隔振设备的领头供应商 ,并在此领域积累了丰富的经验。被动隔振频率隔振台国内用户
关键词:主动式隔震台、主动式隔振台、主动式防振台、防振台、AVI、Herz、Tablestable、
·AVI系列振动传递率
横坐标为频率,纵坐标为传递率的数据,在10hz频率以上时,传递率的数据小于0.02,很好地起到了隔振作用。
AVI承载不同重量时不同方向上振动衰减的数据(实验室实验数据)
垂直方向上的振动传递衰减,在承重时10hz的频率以上时,比较大可以达到40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。
HERZ隔振台干涉测量应用Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统,具有**的防振单元和控制器。
LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度,直至频率为约0.2Hz 传感器直接放置在地板上,并用于前馈回路中与标准AVI / LP系统结合使用,可在非常低的情况下提高隔振效果频率。 LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI / LP上测得的水平隔离度(透射率)有和没有LFS的系统。
将传感器连接到AVI /系统?
传感器LFS-2具有单独的电源,该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。 用D-Sub 25将电源连接到传感器电缆。
每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的 LFS的实际位置并不重要,但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub 15插座连接到传感器。
AVI600-S
AVI 600-S的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元,比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI
600-S适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。
AVI 600-S的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 600-S系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 600-S的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 600-S紧凑型设备不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的处理概念-从而避免在设备上放置沉重的设备(例如SEM)时进行任何复杂的操作。
技术指标:
频率: 1.2-200 Hz
负载范围: 0-1200公斤
(单个): 600公斤 AVI 200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式。
1.更换SEM侧面板(如有必要)。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。 检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。
2.将电源线插入控制器背面。
翻转前面板上的“ ON”开关。 按红色按钮启用活动隔离。
3.几秒钟后,使能LED指示灯将变稳定,指示系统已正确隔离。 轻轻敲击SEM时,控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。
4.如果一个或多个指示灯持续亮起,或者在正常情况下指示灯不熄灭,或者如果点击不亮,则表明传感器过载。
请仔细检查以下内容:没有任何东西触及模块,连接模块和SEM的所有电缆均松弛,并且已针对负载适当调整了模块。 Table Stable通过主动控制没有共振点,可以防止低频范围的振动。横向力显微镜隔振台轮廓仪防震台应用
传感器可以移动到任何所需位置。被动隔振频率隔振台国内用户
AVI200-S
AVI 200-S的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制单元,比较大可以负载400公斤。通过增加隔离模块的数量,可以轻松承受更高的负载。为了使AVI200-M适应用户特定的应用,可以按特殊顺序提供不同长度的单个模块。
AVI 200-M的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 200-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 200-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 200-M隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单,友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程
技术指标:
频率: 1.2-200 Hz
负载范围: 0-400千克(0-200千克单个元件) 被动隔振频率隔振台国内用户
岱美仪器技术服务(上海)有限公司是一家磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务 的公司,致力于成为客户业务创新、仪器仪表可信赖的合作伙伴。岱美中国拥有一支经验丰富、技术创新的专业研发团队,以高度的专注和执着为客户提供[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ]。公司终坚持自主研发创新发展理念,不断优化的技术、产品为客户带来效益,目前年营业额达到100-200万元。岱美中国始终关注仪器仪表市场,以敏锐的市场洞察力以准确定位,实现与客户的成长共赢。