AVI主动隔振台
AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。
AVI 产品特点:
· 安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。
· 安装好后参数不需要调整。
· 从低频率起提高一个隔振环境。
·控制中心有超载指示灯。
Cu(100)-O表面低温AFM图像
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 简单,用户友好的处理概念-避免在安装过程中进行复杂的过程。高精密仪器隔振台轮廓测量应用
AVI-600系列(负载:1200kg)
型号:AVI-600SLP,AVI-600MLP,AVI-600XLP
形状:控制器与防振单元分离型
主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上
确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接,前面的8个LED指示防振状态
单位尺寸:288×396×288×720×318×856×
控制器尺寸;448x286x143毫米
承重:1200kg(相等)
单位重量:约20kg,约26kg,联络我们
电源电压:95-240VAC,50-60赫兹
耗电量:正常27W
工作温度范围:5℃〜40℃
工作湿度范围:10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)
可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询。
选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询
主动式隔震台工作机理
主动防振台通过电气控制,向传入振动瞬间施加反方向的力,从而消除振动。测振传感器不断监测振动,制动器根据这些信号产生反向力,以保持比较好的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。
(1)实际测量的振动结果:AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz
到 200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。
(2)不同负载下的振动传递率:
AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。高频率范围内,随着隔振负载增加,隔震效果稍有提升。
AVI主动隔震台
AVI应用于扫描电镜
1、如有可能,拆下扫描电镜柱的侧板。
2、使用扫描电镜找平脚将立柱抬离地面至少6“。如有必要,在水平尺下放置木块以增加高度。
3、拆下主销后倾角和主销后倾角螺栓(如有必要)。
4、将***个铝制安装板放在扫描电镜下的地面上。前后各27.5英寸,左右各27英寸。用水平仪确保盘子坐平。按下所有角落,确保其与地面齐平。如果不水平或不齐平,则使用垫片确保水平,并在各侧均匀地放置在地面上。
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 传感器LFS-3有一个单独的电源,通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。
AVI-产品参数:AVI-200系列(负载:**多800kg)
型号:AVI-200SLP,AVI-200MLP,AVI-200XLP
系统形状:控制器与防振单元分离型
主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上
确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接前面的8个LED指示防振状态
尺寸:120×396×130×636×130×856×
控制器尺寸:241×287×142毫米
承重:400kg
单位重量:约9kg
联络我们
电源电压:95-240VAC50-60赫兹
耗电量:普通9W
工作温度范围:5℃〜40℃
工作湿度范围:10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)
可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。 先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。欧洲隔振台研发生产
LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。高精密仪器隔振台轮廓测量应用
1、使用2 mm内六角扳手(包括在内)拆下模块端板。
2、根据扫描电镜的重量调整模块。
在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙,允许每侧大约有2mm的行程。
B、使用M6活动扳手(包括)转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙(在**止动螺母和横撑之间)。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。
C、计算每个螺母的圈数;尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。
D、不要转动螺母太远,否则可能损坏系统。在任何情况下,外露螺纹不得超过10mm
3.装回模块上的端板 高精密仪器隔振台轮廓测量应用
岱美仪器技术服务(上海)有限公司属于仪器仪表的高新企业,技术力量雄厚。是一家其他有限责任公司企业,随着市场的发展和生产的需求,与多家企业合作研究,在原有产品的基础上经过不断改进,追求新型,在强化内部管理,完善结构调整的同时,优良的质量、合理的价格、完善的服务,在业界受到***好评。公司业务涵盖[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ],价格合理,品质有保证,深受广大客户的欢迎。岱美中国自成立以来,一直坚持走正规化、专业化路线,得到了广大客户及社会各界的普遍认可与大力支持。