UV-NIL/SmartNIL纳米压印系统EVGroup为基于紫外线的纳米压印光刻(UV-NIL)提供完整的产品线,包括不同的单步压印系统,大面积压印机以及用于高效母版制作的分步重复系统。除了柔软的UV-NIL,EVG还提供其专有的SmartNIL技术以及多种用途的聚合物印模技术。高效,强大的SmartNIL工艺可提供高图案保真度,高度均匀的图案层和蕞少的残留层,并具有易于调整的晶圆尺寸和产量。EVG的SmartNIL兑现了纳米压印的长期承诺,即纳米压印是一种用于大规模生产微米和纳米级结构的高性能,低成本和具有批量生产能力的技术。这个系列的型号包括:EVG®610;EVG®620NT;EVG®6200NT;EVG®720;EVG®7200;EVG®7200LA;HERCULES®NIL;EVG®770;IQAligner®。SmartNIL技术可提供功能强大的下一代光刻技术,几乎具有无限的结构尺寸和几何形状功能。原装进口纳米压印可以免税吗
在EVG的NILPhotonics®解决方案支援中心,双方合作研发用于制造光学传感器的新材料,以及适用于大众化市场的晶圆级光学元件。(奥地利)与WINDACH(德国),2019年11月27日――EV集团(EVG)这一全球领仙的为微机电系统、纳米技术与半导体市场提供晶圆键合与光刻设备的供应商,金天宣布与高科技工业粘合剂制造商DELO在晶圆级光学元件(WLO)领域开展合作。这两家公司均在光学传感器制造领域处于领仙地位。它们的合作将充分利用EVG的透镜注塑成型与纳米压印光刻(NIL)加工设备与DELO先进的粘合剂与抗蚀材料,在工业,汽车,消费类电子产品市场开发与应用新型光学设备,例如生物特征身份认证,面部识别。目前双方正在EVG的NILPhotonics®解决方案支援中心(位于EVG总部,奥地利Florian)以及DELO在德国Windach的总部展开合作。双方致力于改善与加快材料研发周期。EVG的NILPhotonics解决方案支援中心为NIL供应链的客户与合作伙伴提供了开放的创新孵化器,旨在通过合作来缩短创新设备与应用的研发与推广周期。该中心的基础设施包括领仙技术的洁净室与支持NIL制造的主要步骤的设备,例如分步重复母版,透镜模制,以及EVG的SmartNIL®技术,晶圆键合与必要的测量设备。原装进口纳米压印可以免税吗NIL已被证明是在大面积上实现纳米级图案的蕞具成本效益的方法。
面板厂为补偿较低的开口率,多运用在背光模块搭载较多LED的技术,但此作法的缺点是用电量较高。若运用NIL制程,可确保适当的开口率,降低用电量。利用一般曝光设备也可在玻璃基板上形成偏光膜。然8代曝光设备一次可形成的图样面积较小。若要制造55吋面板,需要经过数十次的曝光制程。不仅制程时间长,经过多次曝光后,在图样间会形成细微的缝隙,无法完整显示影像。若将NIL技术应用在5代设备,可一次形成55吋、60吋面板的偏光膜图样。在8代基板可制造6片55吋面板,6次的压印接触可处理完1片8代基板。南韩业者表示,在玻璃基板上形成偏光图样以提升质量的生产制程,是LCD领域中***一个创新任务。若加速NIL制程导入LCD生产的时程,偏光膜企业的营收可能减少。(来自网络。
首先准备一块柔性薄膜作为弹性基底层,然后将巯基-烯预聚物旋涂在具有表面结构的母板上,弹性薄膜压印在巯基-烯层上,与材料均匀接触。巯基-烯材料可以在自然环境中固化通过“点击反应”形成交联聚合物,不受氧气和水的阻聚作用。顺利分离开母板后,弹性薄膜与固化后的巯基-烯层紧密连接在一起,获得双层结构的复合柔性模板。由于良好的材料特性,刚性巯基-烯结构层可以实现较高的分辨率。因此,利用该方法可以制备高 分辨的复合柔性模板,经过表面防粘处理后可以作为软压印模板使用。该研究利用新方法制备了以PDMS和PET为弹性基底的亚100nm线宽的光栅结构复合软压印模板。相关研究成果发表于《纳米科技与纳米技术杂志》(JournalofNanoscienceandNanotechnology)。(来自网络。纳米压印是一种利用纳米技术进行压印的方法。
SmartNIL技术简介SmartNIL是基于紫外线曝光的全域型压印技术,可提供功能强大的下一代光刻技术,几乎具有无限的结构尺寸和几何形状功能。由于SmartNIL集成了多次使用的软标记处理功能,因此还可以实现无人能比的吞吐量,并具有显着的拥有成本的优势,同时保留了可扩展性和易于维护的操作功能。另外,主模板的寿命延长到与用于光刻的掩模相当的时间。岱美作为EVG在中国区的代理商,欢迎各位联系我们,探讨纳米压印光刻的相关知识。岱美愿意与您共同进步。EVG ® 770是分步重复纳米压印光刻系统,使用分步重复纳米压印光刻技术,可进行有效的母版制作。原装进口纳米压印可以免税吗
EVG紫外光纳米压印系统还有:EVG®7200LA,HERCULES®NIL,EVG®770,IQAligner®等。原装进口纳米压印可以免税吗
EVG®610紫外线纳米压印光刻系统具有紫外线纳米压印功能的通用研发掩膜对准系统,从碎片到ZUI大150毫米。该工具支持多种标准光刻工艺,例如真空,软,硬和接近曝光模式,并且可以选择背面对准。此外,该系统还为多功能配置提供了附加功能,包括键对准和纳米压印光刻(NIL)。EVG610提供快速的处理和重新安装工具,以改变用户需求,光刻和NIL之间的转换时间瑾为几分钟。其先进的多用户概念可以适应从初学者到**级别的所有需求,因此使其成为大学和研发应用程序的理想选择。原装进口纳米压印可以免税吗