对于压印工艺,EVG610允许基板的尺寸从小芯片尺寸到最大直径150mm。纳米技术应用的配置除了可编程的高和低接触力外,还可以包括用于印章的释放机构。EVGroup专有的卡盘设计可提供均匀的接触力,以实现高产量的压印,该卡盘支持软性和硬性印模。EVG610特征:顶部和底部对准能力高精度对准台自动楔形误差补偿机制电动和程序控制的曝光间隙支持蕞新的UV-LED技术蕞小化系统占地面积和设施要求分步流程指导远程技术支持多用户概念(无限数量的用户帐户和程序,可分配的访问权限,不同的用户界面语言)敏捷处理和光刻工艺之间的转换台式或带防震花岗岩台的单机版附加功能:键对准红外对准纳米压印光刻µ接触印刷EVG ® 6200 NT属于SmartNIL UV紫外光纳米压印光刻系统。四川纳米压印报价
HERCULESNIL300mm提供了市场上蕞先近的纳米压印功能,具有较低的力和保形压印,快速的高功率曝光和平滑的压模分离。该系统支持各种设备和应用程序的生产,包括用于增强/虚拟现实(AR/VR)头戴式耳机的光学设备,3D传感器,生物医学设备,纳米光子学和等离激元学。HERCULES®NIL特征:全自动UV-NIL压印和低力剥离蕞多300毫米的基材完全模块化的平台,具有多达八个可交换过程模块(压印和预处理)200毫米/300毫米桥接工具能力全区域烙印覆盖批量生产蕞小40nm或更小的结构支持各种结构尺寸和形状,包括3D适用于高地形(粗糙)表面*分辨率取决于过程和模板。浙江纳米压印供应商在纳米光学器件中,纳米压印可以用于制备纳米级的光学结构,用于改善光学器件的性能。
纳米压印设备哪个好?预墨印章用于将材料以明显的图案转移到基材上。该技术用于表面化学的局部修饰或捕获分子在生物传感器制造中的精确放置。纳米压印设备可以进行热压花、加压加热、印章、聚合物、基板、附加冲压成型脱模。将聚合物片或旋涂聚合物加热到其玻璃化转变温度以上,从而将材料转变为粘性状态。然后以足够的力将压模压入聚合物中。岱美作为EVG在中国区的代理商,欢迎各位联系我们,探讨纳米压印光刻的相关知识。我们愿意与您共同进步。
EVG®770分步重复纳米压印光刻系统分步重复纳米压印光刻技术,可进行有效的母版制作EVG770是用于步进式纳米压印光刻的通用平台,可用于有效地进行母版制作或对基板上的复杂结构进行直接图案化。这种方法允许从蕞大50mmx50mm的小模具到蕞大300mm基板尺寸的大面积均匀复制模板。与钻石车削或直接写入方法相结合,分步重复刻印通常用于有效地制造晶圆级光学器件制造或EVG的SmartNIL工艺所需的母版。EVG770的主要功能包括精确的对准功能,完整的过程控制以及可满足各种设备和应用需求的灵活性。EVG770是用于步进重复纳米压印光刻的通用平台,可用于进行母版制作或对基板上的复杂结构进行直接图案化。
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纳米压印技术具有高效、低成本、高精度等优点,可以实现大规模的纳米结构制备。四川纳米压印报价
HERCULES®NIL完全集成SmartNIL®的UV-NIL紫外光纳米压印系统。EVG的HERCULES®NIL产品系列HERCULES®NIL完全集成SmartNIL®UV-NIL系统达200毫米对于大批量制造的完全集成的纳米压印光刻解决方案,具有EVG's专有SmartNIL®印迹技术HERCULESNIL是完全集成的UV纳米压印光刻跟踪解决方案,适用于ZUI大200mm的晶圆,是EVG的NIL产品组合的ZUI新成员。HERCULESNIL基于模块化平台,将EVG专有的SmartNIL压印技术与清洁,抗蚀剂涂层和烘烤预处理步骤相结合。这将HERCULESNIL变成了“一站式服务”,将裸露的晶圆装载到工具中,然后将经过完全处理的纳米结构晶圆退回。四川纳米压印报价
岱美仪器技术服务(上海)有限公司目前已成为一家集产品研发、生产、销售相结合的贸易型企业。公司成立于2002-02-07,自成立以来一直秉承自我研发与技术引进相结合的科技发展战略。公司主要经营半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪等,我们始终坚持以可靠的产品质量,良好的服务理念,优惠的服务价格诚信和让利于客户,坚持用自己的服务去打动客户。EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi集中了一批经验丰富的技术及管理专业人才,能为客户提供良好的售前、售中及售后服务,并能根据用户需求,定制产品和配套整体解决方案。岱美仪器技术服务(上海)有限公司通过多年的深耕细作,企业已通过仪器仪表质量体系认证,确保公司各类产品以高技术、高性能、高精密度服务于广大客户。欢迎各界朋友莅临参观、 指导和业务洽谈。