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膜厚仪基本参数
  • 产地
  • 美国
  • 品牌
  • Frontier Semiconductor (FSM)
  • 型号
  • FSM 413EC, FSM 413MOT,FSM 413SA DP FSM 413C2C, FSM
  • 是否定制
膜厚仪企业商机

  更可加装至三个探头,同时测量三个样品,具紫外线区或标准波长可供选择。F40:這型號安裝在任何顯微鏡外,可提供*小5um光點(100倍放大倍數)來測量微小樣品。F50:這型號配備全自動XY工作台,由8"x8"到18"x18"或客戶提供所需尺寸均可。通过快速扫瞄功能,可取得整片样品厚度分布情况(mapping)。F70:瑾通过在F20基本平台上增加镜头,使用Filmetrics*新的颜色编码厚度测量法(CTM),把设备的测量范围极大的拓展至。F10-RT:在F20实现反射率跟穿透率的同时测量,特殊光源设计特别适用于透明基底样品的测量。PARTS:在垂直入射光源基础上增加70º光源,特别适用于超薄膜层厚度和n、k值测量。**膜厚测量仪系统F20使用F20**分光计系统可以简便快速的测量厚度和光学参数(n和k)。您可以在几秒钟内通过薄膜上下面的反射比的频谱分析得到厚度、折射率和消光系数。任何具备基本电脑技术的人都能在几分钟内将整个桌面系统组装起来。F20包括所有测量需要的部件:分光计、光源、光纤导线、镜头集和和Windows下运行的软件。您需要的只是接上您的电脑。膜层实例几乎任何光滑、半透明、低吸收的膜都能测。包括:sio2(二氧化硅)sinx(氮化硅)dlc(类金刚石碳)photoresist。适用于所有可让红外线通过的材料 硅、蓝宝石、砷化镓、磷化铟、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物等。福建膜厚仪干涉测量应用

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平台和平台附件标准和砖用平台。CS-1可升级接触式SS-3样品台,可测波长范围190-1700nmSS-36“×6”样品平台,F20系统的标准配置。可调节镜头高度,103mm进深。适用所有波长范围。SS-3-88“×8”样品平台。可调节镜头高度,139mm进深。适用所有波长范围。SS-3-24F20的24“×24”样品平台。可调节镜头高度,550mm进深。适用所有波长范围。SS-56"x6"吋样品台,具有可调整焦距的反射光学配件,需搭配具有APC接头的光纤,全波长范围使用样品压重-SS-3-50样品压重SS-3平台,50mmx50mm样品压重-SS-3-110样品压重SS-3平台,110mmx110mm北京膜厚仪厂家F30测厚范围:15nm-70µm;波长:380-1050nm。

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Filmetrics 的技术Filmetrics 提供了范围广范的测量生物医疗涂层的方案:支架: 支架上很小的涂层区域通常需要显微镜类的仪器。 我们的 F40 在几十个实验室内得到使用,测量钝化和/或药 物输送涂层。我们有独特的测量系统对整個支架表面的自動厚度测绘,只需在测量时旋轉支架。植入件: 在测量植入器件的涂层时,不规则的表面形状通常是为一挑战。 Filmetrics 提供这一用途的全系列探头。导丝和导引针: 和支架一样,这些器械常常可以用象 F40 这样的显微镜仪器。导液管和血管成型球囊的厚度:大于 100 微米的厚度和可见光谱不透明性决定了 F20-NIR 是这一用途方面全世界众多实验室内很受欢迎的仪器。

测量眼科设备涂层厚度光谱反射率可用于测量眼镜片减反射(AR)光谱和残余颜色,以及硬涂层和疏水层的厚度。减反涂层减反涂层用来减少眩光以及无涂层镜片导致的眼睛疲劳。减反镜片的蓝绿色彩也吸引了众多消费者。因此,测量和控制减反涂层及其色彩就变得越来越重要了。FilmetricsF10-AR是专门为各类眼镜片设计的,配备多种独特功能用于减反涂层检测。硬涂层硬涂层用来增加抗划痕和抗紫外线的能力。在镜片上涂抹硬涂层,就提供了这种保护,而减反涂层则是不太柔软的较硬镀层。FilmetricsF10-AR配备了硬涂层测量升级软件。可以测量厚达15微米的一层或两层硬涂层。疏水层疏水涂层使减反镜片具有对水和油排斥的属性,使它们易于清洁。这些涂层都是特别薄的–只有一百个原子的数量级–因此需要短波(紫外线)光来精确测量。测量疏水层厚度的蕞佳仪器就是配备了UPG-F10-AR-d和UPG-F10-RT-nk升级软件的F10-AR-UV。镜片的穿透率测量F10-AR可选购SS-Trans-Curved样品台用于测量镜片的穿透率。测量厚度: 15 — 780 μm (单探头) ; 3 mm (双探头总厚度测量)。

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F60系列生产环境的自动测绘FilmetricsF60-t系列就像我们的F50产品一样测绘薄膜厚度和折射率,但它增加了许多用于生产环境的功能。这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机,以及升级到全自動化晶圆传输的机型。不同的F60-t仪器根据波长范围加以区分。较短的波长(例如,F60-t-UV)一般用于测量较薄的薄膜,而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。包含的内容:集成平台/光谱仪/光源装置(不含平台)4",6"and200mm参考晶圆TS-SiO2-4-7200厚度标准真空泵备用灯F30-UV测厚范围:3nm-40µm;波长:190-1100nm。浙江膜厚仪测样

应用:衬底厚度(不受图案硅片、有胶带、凹凸或者粘合硅片影响),平整度。福建膜厚仪干涉测量应用

(光刻胶)polyerlayers(高分子聚合物层)polymide(聚酰亚胺)polysilicon(多晶硅)amorphoussilicon(非晶硅)基底实例:对于厚度测量,大多数情况下所要求的只是一块光滑、反射的基底。对于光学常数测量,需要一块平整的镜面反射基底;如果基底是透明的,基底背面需要进行处理使之不能反射。包括:silicon(硅)glass(玻璃)aluminum(铝)gaas(砷化镓)steel(钢)polycarbonate(聚碳酸脂)polymerfilms(高分子聚合物膜)应用半导体制造液晶显示器光学镀膜photoresist光刻胶oxides氧化物nitrides氮化物cellgaps液晶间隙polyimide聚酰亚胺ito纳米铟锡金属氧化物hardnesscoatings硬镀膜anti-reflectioncoatings增透镀膜filters滤光f20使用**仿真活动来分析光谱反射率数据。标准配置和规格F20-UVF20F20-NIRF20-EXR只测试厚度1nm~40μm15nm~100μm100nm~250μm15nm~250μm测试厚度和n&k值50nmandup100nmandup300nmandup100nmandup波长范围200-1100nm380-1100nm950-1700nm380-1700nm准确度大于%或2nm精度1A2A1A稳定性光斑大小20μm至可选样品大小1mm至300mm及更大探测器类型1250-元素硅阵列512-元素砷化铟镓1000-元素硅&512-砷化铟镓阵列光源钨卤素灯。福建膜厚仪干涉测量应用

岱美仪器技术服务(上海)有限公司坐落于金高路2216弄35号6幢306-308室,是集设计、开发、生产、销售、售后服务于一体,仪器仪表的贸易型企业。公司在行业内发展多年,持续为用户提供整套半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪的解决方案。公司主要产品有半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪等,公司工程技术人员、行政管理人员、产品制造及售后服务人员均有多年行业经验。并与上下游企业保持密切的合作关系。EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi致力于开拓国内市场,与仪器仪表行业内企业建立长期稳定的伙伴关系,公司以产品质量及良好的售后服务,获得客户及业内的一致好评。岱美仪器技术服务(上海)有限公司本着先做人,后做事,诚信为本的态度,立志于为客户提供半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪行业解决方案,节省客户成本。欢迎新老客户来电咨询。

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