工业烤箱基本参数
  • 产地
  • 安徽合肥
  • 品牌
  • 合肥真萍电子科技有限公司
  • 型号
  • 齐全
  • 是否定制
工业烤箱企业商机

HMDS真空烤箱整机尺寸、真空腔体尺寸:1.内胆尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.载物托架:2块3.室温+10℃-250℃控温范围:温度分辨率:0.1℃温度波动度:±0.5℃4.真空泵:油泵或无油真空泵。真空度:133pa,5.加热方式:腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板(防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态)6.可放2寸晶圆片或4寸晶圆片;6寸晶圆片;8寸晶圆片等。7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间(正常工艺在50分钟-120分钟(按产品所需而定烘烤时间),为正常工作周期不含降温时间(因降温时间为常规降温)。上海哪家的工业烤箱比较好?哪里有工业烤箱批发

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下面为大家简单介绍一下洁净烘箱

箱体结构:

1烘箱总体由箱体部分,电气控制柜部分,电加热部分,风道部分,尘埃物过滤部分,N2 进气排气及风冷部分等组装而成,结构合理,功能实用。

2外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆可防止微尘,内胆材料:采用进口SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁有效的防止了机台本身灰尘的产生。

3保温材料:采用正厂玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充,防止了热能浪费。

4电热部分:采用覆套式电热器(SHEATHED HEATER)无尘无氧化电热发生器

5风道部分:整体结构采用了水平送风的方式由左向右送风后经美国进口H.E.P.A,(特殊风道设计)过滤效果可达99.99%,Class100;

可靠的测控系统

1温度控制装置:进口温控器,内置PID自动整定,斜率设定功能

2温度控制方式为SSR固态继电器功率调整输出,温度采集探头为特制铠装K型热电偶

3温度监控装置:采用六通道巡回检测 有纸记录仪,可将烤箱内实时环境温度进行检测打印。



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通过数显仪表与温感器的连接来控制温度,采用热风循环送风方式,热风循环系统分为水平式和垂直式。均经精确计算,风源是由送风马达运转带动风轮经由电热器,将热风送至风道后进入烘箱工作室,且将使用后的空气吸入风道成为风源再度循环加热运用,如此可有效提高温度均匀性。如箱门使用中被开关,可借此送风循环系统迅速恢复操作状态温度值。工业烤箱的热风循环系统由送风马达、风轮和电热器组成,送风马达带动风轮送出冷风,冷风经过电热设备加热携带热能后经风道进入工业烤箱的烘箱工作室。

可定制高温烘箱产品型号:DGF-9030A箱体结构:1、本烘箱由室体、加热系统、电气控制系统、送风系统、保护系统等组成。2、箱体采用优良设备制作、成熟的制造工艺流程、线条流畅、美观大方。3、工作室材质为耐高温不锈钢SUS304材质、外箱材质为优良冷轧钢板,产品外壳使用环保金属漆喷制,整体设计美观大方,适合实验室的颜色搭配。4、工作室内的搁架可随客户的要求调节高度及搁架的数量。5、工作室与外箱之间的保温材质是优良硅铝酸高温棉,保温厚度:>100mm,隔温效果,高性能的绝缘结构。从内到外有内腔、外壳、超细玻璃纤维、铝制反射铝箔片、空气夹层,内胆热量损失少。内胆外箱及门胆结构减少了内腔热量的外传。合肥真萍工业烤箱的运用领域!

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HMDS预处理系统的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。  增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。上海哪家工业烤箱厂家值得信赖?浙江工业烤箱批发

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1、采用智能型温度控制模块,PID自动演算,LED显示,配合SSR大功率可控硅输出,能控制温度之精细度;2、分段控制(当到达设定温度时可任意关掉其中几段发热管,降低加热功率,其达到省电效果)3、内箱采用1.5mm厚SUS304#不锈钢(清洁无尘,防生锈、耐腐蚀),外箱采用1.5mm厚Q235冷轧钢板(强度、塑性和焊接综合性能相当好);4、整机控制系统采用触摸屏加PLC程序控制,设备加热、运风、传动、自动门开关均采用智能控制,防止失误动作;1、双边配有链条传动,解决传送过程中跑偏的现象;2、烘箱分段式加热,单独电箱控制,方便操作,结构主要由输送机系统与烘干炉两大部分组成,多段单独;3、PID温度控制,炉内温度均匀;4、输送速度变频调速,调节自如,运行平稳,产能高;5、每段单独箱体设置废气排放接口,可外接到车间外面,避免车间废气污染。哪里有工业烤箱批发

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