常州MU180X干式真空泵维修

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介（包括对功能的基本介绍）

       SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸： W:400×H:905×L:760ＭＭ，MAX排气速度10000L/min，立式螺杆设计排气线路短，不容易发生卡死。转子材质为镍合金，防腐蚀能力优越,使用时内部温度高，适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

系统组成：

1) 罗茨泵  (SDE120TX) 1  

2) 机械增压泵(KMB603) 1  

3) 电源盒  1  

4) 操作手柄1  

5) 连接件  1  

6) 消音器(SR-19) 1

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浚和（上海）仪器有限公司为日本樫山工业干式真空泵中国区授权代理商。常州MU180X干式真空泵维修

日本KASHIYAMA SDE30N20干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

日本KASHIYAMA SDE303TX干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

式样：SDE303TX

MAX排气速度（L/min）：5000

达到压力（Pa）：0.5

电源电压：3相  AC200-220V，380-480V

外型尺寸WHL [mm]：400×905×760

二、 配置清单：

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：

1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。

2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。

3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。

4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

日本KASHIYAMA MU180X干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

式样：MU180X

MAX排气速度（L/min）：3000

达到压力（Pa）：1.5

电源电压：3相  AC200-220V

消费电力（KW）：0.5KW

外型尺寸WHL [mm]：280×299×550

质量【kg】：95kg

二、 配置清单：

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA SDE4060干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

式样：SDE4060

MAX排气速度（L/min）：60000

达到压力（Pa）：0.8

电源电压：3相  AC200-220V，380-480V

外型尺寸WHL [mm]：750×1200×1600

二、 配置清单：

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：

1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。

2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。

3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。

4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

干式真空泵的主要特点都有哪些呢？常州MU180X干式真空泵维修

对于不同的需求我们选择不同的干式真空泵系列。常州MU180X干式真空泵维修

日本KASHIYAMASDE303X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

二、 配置清单：

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（GasBallast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。
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